設備情報 ／ Machine Information
| モデル名 Model |
メーカー名 Manufacture |
機種名 Product No. |
仕様 Specificatio |
年式 Model Year |
問い合わせ 受付終了日 Model Year |
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| VX210-2AFP | 日本語表記 Veeco |
日本語表記 Profilometer |
日本語表記 Xxxxxxxx |
2000 | 2013年 12月25日 |
  
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| 備考 Ramark | ||||||
| Veeco Dimension Vx210/AFP The Dimension Vx 210/310 Atomic Force Profiler (AFP) can deliver the unique combination of AFM resolution, long scan capability (up to 100mm) with the high vertical and lateral resolution measurements required for sub-0.25 micron features. The Dimension Vx 210/310 systems are ideal for CMP metrology applications that require both long scans for measuring planarity across an entire die as well as true AFM resolution imaging for examining tungsten plug recess, vias and metal lines. | ||||||
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